Калибровка вакуумметраиграет решающую роль в области измерения вакуума и является ключевым вспомогательным инструментом для всех исследований и разработок в области измерения вакуума. Посредством калибровки можно не только унифицировать существующие относительные вакуумметры в соответствии с надежными стандартами, но также можно провести углубленное исследование характеристик вакуумметров на стадии разработки.
Так называемая «калибровка вакуумметра» по существу относится к операции «калибровки» соответствующего вакуумметра. Следует отметить, что калибровка вакуумметра проводится в конкретных условиях для конкретного типа газа, на основании чего получают калибровочные коэффициенты или калибровочные кривые.
При изменении типа газа или условий работы исходная калибровочная кривая больше не применима и ее необходимо откалибровать заново. Даже для одного и того же измерительного прибора при замене манометра соответствующим образом изменится и его калибровочная кривая. Видно, что калибровка относительного вакуумметра не только необходима, но и должна проводиться регулярно, иначе могут возникнуть ошибки измерения, выходящие за пределы допустимого диапазона.
Калибровка нацелена на общий вакуумметр, охватывая как вакуумметр как основной прибор, так и электронную схему как вторичный прибор. Обычно они калибруются вместе, но более идеально калибровать вакуумметр и электронную схему отдельно.
Калибровка вакуумметра требует стандартного вакуумметра и системы калибровки и достигается с помощью специальных методов.
Вакуумные эталоны включают в себя абсолютные вакуумметры, стандартные относительные вакуумметры (или вторичные эталонные вакуумметры) и системы абсолютной калибровки.
Все абсолютные вакуумметры могут служить эталонами вакуума. Система калибровки вакуумметра, которая использует абсолютный вакуумметр в качестве эталона и точно рассчитывает регенерированное низкое давление после падения давления в качестве стандарта, называется системой абсолютной калибровки.
Например, система калибровки метода расширения применяет принцип статического теплового равновесия, основанный на законе Бойля идеальных газов. Эта система расширяет нижний предел калибровки манометра с U-образной трубкой до высокого вакуума (10 ⁻⁴ Па). Вакуумметры с высокой стабильностью и точностью могут использоваться в качестве вторичных эталонов для калибровки рабочих вакуумметров после калибровки. Такие вакуумметры называются вакуумметрами вторичного стандарта. В области метрологии стандарты представляют собой систему, организованную по уровням точности.
1 мая 1990 года Государственное управление технического надзора утвердило и начало внедрение важного стандарта «Система калибровки вакуумных измерительных приборов» (JJG2022-89).
С быстрым развитием современной техники значительный прогресс был достигнут и в области вакуумной техники. В настоящее время диапазон получения и измерения вакуума значительно расширился, простираясь от исходного атмосферного давления (10 ⁵ Па) до очень широкого диапазона чрезвычайно высокого вакуума (<10 ⁻¹⁰ Pa).
Однако в реальном промышленном производстве и научно-исследовательской деятельности, благодаря обширной практике и статистическим открытиям, диапазон давления, с которым сталкиваются люди, в основном сосредоточен между 10 ⁻⁸ и 10 ⁵ Па. В этом конкретном диапазоне давлений, чтобы обеспечить точность и последовательность Из значений измерения вакуума появилась «Система калибровки вакуумных измерительных приборов».
Эта система проверки играет решающую роль. Это ключевое звено в обеспечении точности и надежности значений измерения вакуума, благодаря которому может быть достигнута эффективная передача значений измерения вакуума между различными звеньями и оборудованием.
В частности, в области вакуумной метрологии точность вакуумных приборов времени на всех уровнях имеет решающее значение для всего процесса измерения. Система калибровки подобна точной линейке, обеспечивающей единый эталон измерения для этих вакуумных таймеров и обеспечивающую строгую калибровку вакуумных таймеров различных уровней.
И следует подчеркнуть, что система калибровки в основном ориентирована на конкретный диапазон давлений от 10 ⁻⁸ до 10 ⁵ Па. В рамках этой области, будь то вакуумное эталонное устройство, используемое для калибровки и испытаний отделом метрологии, вакуумметр используемое в экспериментальном процессе научно-исследовательским отделом или оборудование для измерения вакуума, задействованное в производственном процессе промышленным отделом, все они должны быть откалиброваны в соответствии с этой системой калибровки, чтобы обеспечить точность и надежность значений измерения вакуума во всем промышленное производство и процесса научных исследований, а также избежать различных проблем, вызванных неточными измерениями вакуума, таких как отклонение результатов эксперимента, нестабильное качество продукции и т. д.
