Консервированный моторный привод Roots, вакуумный усилитель
Вакуумный усилитель Рутса с герметичным приводом — это вакуумный усилитель с положительным-вытеснением, разработанный для работы в тандеме с форвакуумным насосом, что существенно увеличивает пропускную способность газа и улучшает производительность откачки-в промышленных рабочих диапазонах. Благодаря использованию синхронизированных роторов Рутса в сочетании с герметичным герметичным электродвигателем эта система полностью исключает динамическую утечку-уплотнений вала, обеспечивая абсолютную герметичность тракта перекачиваемого-газа.
Технические характеристики
|
Технические параметры |
Спецификация/Требование |
|
Скорость откачки |
Объемный рабочий объем соответствует фактическому рабочему давлению. |
|
Диапазон рабочего давления |
Нормальное рабочее давление до целевых пороговых значений поддержки |
|
Дифференциальное давление |
Максимально допустимый перепад давления на входе и выходе |
|
Емкость газовой нагрузки |
Непрерывный и пиковый массовый/объемный расход газа |
|
Совместимость с технологическим газом |
Коррозионные, токсичные, инертные или конденсирующиеся пары паров. |
|
Температурные пределы |
Нормальная и максимально допустимая температура газа |
|
Требования к форвакуумному насосу |
Размер рассчитан на объемную разгрузку и контроль меж-межступенчатого давления. |
|
Моторный привод и электрика |
Герметичный герметичный двигатель; заданное напряжение, частота и фаза |
|
Соответствие требованиям и безопасность |
Региональные электрические стандарты (варианты IEC, NEMA, ATEX/IECEx) |
|
Метод охлаждения |
Интегрированные конфигурации с воздушным или жидкостным охлаждением |
|
Стандарты подключения |
Размеры входного/выходного фланца (стандарты ISO-K, ANSI, JIS) |
|
Материалы конструкции |
Детали, контактирующие с рабочей средой, из нержавеющей стали 304L/316L, Hastelloy или специальных сплавов. |
Системная интеграция и подбор форвакуумного насоса
Ракета-носитель Рутса работает исключительно как промежуточная ступень и не может выбрасывать газ напрямую в атмосферу. Форвакуумный насос должен непрерывно удалять сбрасываемый газ, сохраняя при этом перепад давления в пределах безопасных эксплуатационных пределов бустера.
Давление пересечения:Определите точный порог давления на входе, при котором усилитель включается во время откачки-откачки.
Тепловое равновесие:Сбалансируйте выделение тепла при сжатии и эффективность охлаждения между-ступенями.
Динамика эвакуации:Рассчитайте общее время вакуумирования камеры, используя проверенные кривые зависимости скорости откачки от давления на входе, а не номинальные каталожные значения.
Производство и гарантия качества
Надежная работа в условиях высокого-вакуума зависит от строгих механических допусков и динамического баланса. Стандартные производственные и инспекционные ворота включают в себя:
Профилирование ротора с ЧПУ:Прецизионная обработка для поддержания точных внутренних зазоров и объемной эффективности.
Динамическая балансировка:Высокоскоростная-балансировка ротора для минимизации вибрации, шума и износа подшипников.
Проверка размеров КИМ:Проверка геометрии корпуса и камеры перед сборкой.
Синхронизация ГРМ:Точная центровка шестерен для обеспечения бесконтактного вращения ротора.
Тестирование гелиевого масс-спектрометра:Проверка вакуумной герметичности и целостности конструкции.
Заводские приемочные испытания (FAT):Проверка биения-, электрической нагрузки и кривой производительности.
Область применения
Разработанный для промышленных процессов, требующих высокой пропускной способности газа, быстрого вакуумирования или абсолютного удержания газа, типичные области применения включают:
Производство полупроводников, системы CVD/PVD и вакуумное нанесение покрытий
Вакуумная сушка активного фармацевтического ингредиента (API) и регенерация растворителя
Высокотемпературные-вакуумные печи, пайка и металлургия
Крупномасштабные-промышленные дегазационные и центральные вакуумные системы
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Требуется ли для вакуумного усилителя Canned Motor Drive Roots форвакуумный насос?
А: Да. Бустер Рутса — это бустер с положительным-вытеснением, а не атмосферный компрессор. Для этого требуется форвакуумный насос подходящего размера (например, пластинчато-роторный, винтовой или водокольцевой насос) для перекачивания отходящих газов и поддержания безопасного перепада давления между-ступенями.
Вопрос: Как выбрать правильную скорость откачки?
Ответ: Основывайте свой выбор на требуемом массовом расходе или скорости откачки при конкретном рабочем давлении, принимая во внимание объем камеры, заданную продолжительность откачки-и динамику газовой нагрузки, проверенную на соответствие кривым производительности производителя.
Вопрос: Почему перепад давления является критическим параметром выбора?
О: Чрезмерный перепад давления создает высокую термическую нагрузку и механическую нагрузку на двигатель и распределительные шестерни. Сочетание бустера с форвакуумным насосом подходящего размера позволяет безопасно поддерживать рабочую точку в тепловых пределах.
Вопрос: Может ли этот бустер работать с агрессивными или конденсируемыми газами?
О: Да, при условии, что материалы,-контактирующие с газом, и эластомерные уплотнения выбраны специально-для конкретного применения, а на входе установлены соответствующие конденсаторы, скрубберы или газоочистители.
Вопрос: В чем преимущество герметичной конфигурации двигателя?
О: Герметичный двигатель полностью герметизирует статор и ротор внутри вторичных защитных барьеров, устраняя точки отказа динамического-уплотнения вала и делая его идеальным для токсичных, огнеопасных или сверх{1}}чистых сред, где обязательна нулевая утечка в атмосферу.
горячая этикетка : Вакуумный усилитель с консервированным двигателем, Китайские вакуумные усилители с консервированным двигателем, производители, поставщики, завод







