Вакуумный усилитель Roots с нулевой утечкой и магнитным приводом
В усилителе Рутса с магнитным приводом с нулевой утечкой используется герметичная магнитная трансмиссия для передачи крутящего момента между двигателем и насосной камерой. За счет отказа от традиционных динамических уплотнений вала эта конструкция устраняет первичный путь утечки, присущий стандартным усилителям с механическим-приводом, предотвращая загрязнение технологического газа и попадание в атмосферу.
Эта система, разработанная в качестве усилителя-высокой производительности для первичных форвакуумных насосов, оптимизирует скорость откачки и максимальную производительность вакуума в полупроводниковых, химических, металлургических и промышленных процессах нанесения покрытий.
Технические характеристики
Следующие параметры служат основой для технической оценки и выбора модели:
|
Параметр |
Спецификация/Основы выбора |
|
Механизм насоса |
Вакуумный ускоритель Рутса с двумя-роторами |
|
Интерфейс привода |
Герметичная магнитная муфта (без проникновения в вал) |
|
Номинальная скорость откачки |
Настроен на требуемую рабочую точку |
|
Предельное давление |
Зависит от конфигурации системы и производительности форвакуумного насоса. |
|
Диапазон рабочего давления |
Определяется постоянной газовой нагрузкой и конфигурацией бустера. |
|
Макс. Допустимый перепад давления |
В зависимости от модели-; защищен перепускным клапаном или реле давления |
|
Скорость утечки |
Протестировано с помощью гелиевой масс-спектрометрии (<= 1x10^-9 Pa·m^3/s) |
|
Стандарты фланцев |
Доступны стандарты ISO-K, CF, DN или ANSI. |
|
Метод охлаждения |
Воздушное-охлаждение или водяное-охлаждение (в зависимости от тепловой нагрузки) |
|
Совместимость с газом |
Персонализация материалов на основе анализа коррозионных/конденсирующихся газов |
|
Источник питания |
Стандартный 3-фазный (380 В/440 В/480 В, 50/60 Гц; дополнительно ATEX) |
Технология магнитного привода и контроль утечек
Устранение динамических уплотнений вала
В стандартных бустерах Roots используются динамические механические уплотнения вала, которые постепенно изнашиваются из-за трения, теплового расширения и химического разложения.
Система магнитного привода устраняет эту точку отказа за счет использования статической защитной оболочки (контейнера):
Передача крутящего момента. Внешние магниты приводят внутренние магниты в движение через твердый не-магнитный барьер без прямого контакта.
Герметическое уплотнение: преобразует динамическое уплотнение в статическое уплотнение, устраняя утечки на валу и обеспечивая чистоту процесса.
Измеримые стандарты утечки
В технике высокого-вакуума «нулевая утечка» относится к строгому, измеримому стандарту приемки, а не к непроверенному маркетинговому заявлению.
Гарантия качества: каждое устройство проходит заводские испытания-в динамическом вакууме с использованием гелиевых масс-спектрометрических детекторов утечек (HMSLD) для подтверждения соответствия предельным значениям скорости утечки гелия.3. . Сертификаты испытаний прилагаются к отправочной документации.
Ключевые промышленные применения
Усилитель магнитного привода идеально подходит для применений, требующих строгой изоляции газа, изоляции токсичных материалов или сверх-чистых условий:
Полупроводники и электроника:Нанесение PVD/CVD, травление, вытягивание кристаллов и обработка пластин с использованием газов высокой-чистоты или химически активных газов.
Химическая и фармацевтическая обработка:Восстановление растворителя, вакуумная дистилляция, термическая дегазация и агрессивная пароэкстракция.
Вакуумное покрытие и металлургия:Оптическое покрытие, электронно--лучевая сварка, вакуумная индукционная плавка (ВИМ) и промышленные печи для термообработки.
Извлечение ценного-газа:Замкнутая-рециркуляция редких или дорогих газов, включая гелий (He), аргон (Ar) и гексафторид серы (SF6).
Руководство по системной интеграции и выбору
Выбор оптимального усилителя Рутса требует оценки всей вакуумной системы, а не полагаться исключительно на номинальную скорость откачки.
Рассчитайте целевую скорость откачки:Определите эффективную скорость на основе общего объема камеры, необходимого времени вакуумирования, расхода технологического газа и дегазации системы.
Соответствие форвакуумного насоса:Убедитесь, что форвакуумный насос обеспечивает достаточную производительность, чтобы справиться со сливом из усилителя без превышения пределов максимального перепада давления.
Обзор технологической среды:Определите коррозионные, токсичные, конденсирующиеся газы или газы,-содержащие твердые частицы, чтобы выбрать подходящие покрытия ротора (например, ПТФЭ или никелирование), конфигурации газового балласта или блоки фильтрации на входе.
Гарантия качества и стандарты производства
Прецизионная обработка:Профильное фрезерование с ЧПУ обеспечивает сверх-плотные зазоры между ротором- и-корпусом, оптимизируя объемную эффективность без механического контакта.
Динамическая балансировка:Роторы подвергаются динамической балансировке в соответствии со стандартами ISO 1940 G1.0, чтобы обеспечить низкий уровень вибрации и длительный срок службы подшипников.
Безопасность соединения:Узлы магнитного привода проходят испытания на тепловую -напряжение-, чтобы гарантировать нулевое проскальзывание при полной рабочей нагрузке.
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Как магнитный привод предотвращает загрязнение технологического газа?
Ответ: В отличие от традиционных усилителей Рутса, в которых используются вращающиеся механические уплотнения вокруг вала, магнитный привод передает крутящий момент через прочный статический барьер.
Вопрос: Может ли этот бустер запуститься при атмосферном давлении?
Ответ: Стандартные бустеры Рутса не следует запускать при атмосферном давлении без защиты, поскольку высокие перепады давления могут вызвать перегрузку двигателя и тепловое расширение роторов.
Вопрос: Как магнитный привод защищен от проскальзывания крутящего момента или перегрузки?
A: Магнитная муфта рассчитана на превышение максимального рабочего крутящего момента. Если произойдет неожиданная механическая блокировка, магнитное поле отключится (проскальзывает), чтобы защитить внутренние компоненты и двигатель от катастрофического отказа.
Вопрос: Может ли этот насос перекачивать агрессивные или конденсирующиеся газы?
А: Да. Для агрессивных или конденсируемых применений мы предлагаем специальные материалы корпуса и ротора (например, нержавеющую сталь или специальные покрытия поверхности, такие как ПТФЭ и никелирование).
Вопрос: Какие технические данные я должен предоставить при запросе предложения?
О: Чтобы обеспечить точный размер, укажите: целевое рабочее давление, требуемую скорость откачки или объем камеры с заданным временем простоя насоса-, состав газа, существующие характеристики форвакуумного насоса (если применимо), предпочтительные стандарты фланцев и требования к коммунальным предприятиям (напряжение/охлаждающая вода).
горячая этикетка : Усилитель с магнитным приводом с нулевой утечкой, Китай Усилитель с магнитным приводом с нулевой утечкой производители, поставщики, завод
